2008年05月02日
真空ポンプ
コレって何だろう。意外と知らないところですよね。
真空ポンプとは、容器内から気体を排出し、真空を得るためのポンプである。1台で超高真空から大気圧までをカバーするのは非常に困難な為、多くは粗引きポンプやメインポンプなどと組み合わせで使うが、用途によって1台で済む場合は粗引き、メインなどの呼び分けはしない。
分類
どれだけの高真空を必要とするか、また排気する気体の成分によって、使用すべき真空ポンプは異なる。真空ポンプは、構造に油を用いるウェットポンプと、油を用いないドライポンプとに大別される。一般的に、ウェットポンプは排気量、到達圧力、価格などの総合面で優れた性能を持つ油回転型真空ポンプ（ロータリーポンプ）が大きく普及している。もっとも安価であろう手押し式は、エアコンの冷媒注入用として市販されている。
ドライポンプは油汚染を嫌う用途で使用されることが多いが、吸着装置やアスピレータなどの低真空向けに安価なダイヤフラムポンプもかなり普及している。
真空ポンプの分類法としては更に容積移送式、運動量輸送式、気体溜め込み式というような分類法もある。
引用『ウィキペディア（Wikipedia）』
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